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PARKER直動式比例換向閥情況作了12頁的報道，顯示了當時伺服閥蓬勃發(fā)展的狀況。那時各種類型的伺服閥的制造商有 20多家。各為了爭奪伺服閥的霸權地位展開了激烈地競爭。回顧歷史，可以看到zui終取勝的幾個，大多數具有反饋及力矩馬達的兩伺服閥。我們可以看到1960年的伺服閥已具有現代伺服閥的許多特點。如：二對*反饋形成閉環(huán)控制；采用干式力矩馬達；前置對功率的壓力恢復通常可達到50%；*的機械對稱結構減小了溫度、壓力變化對零位的影響。同時，由早期的直動型開環(huán)控制閥發(fā)展變化而來的直動型兩閉環(huán)控制伺服閥也已出現。
PARKER直動式比例換向閥工業(yè)運用場合的不斷擴大，某些研制出了專門使用于工業(yè)場合的工業(yè)伺服閥。如Moog公司就在1963年推出了*款專為工業(yè)場合使用的73系列伺服閥產品。隨后，越來越多的專為工業(yè)用途研制的伺服閥出現了。它們具有如下的特征：較大的體積以方便制造；閥體采用鋁材（需要時亦可采用鋼材）；獨立的*以方便調整及維修；主要使用在14MPa以下的低壓場合；盡量形成系列化、標準化產品。然而Moog公司在德國的分公司卻將其伺服閥的應用場合主要集中在高壓場合，般工作壓力在21MPa，有的甚到35MPa，這就使閥的設計專重于高壓下的使用可靠性。而隨著伺服閥在工業(yè)場合的廣泛運用，各公司均推出了各自的適合工業(yè)場合用的比例閥。其特點為低成本，控制精度雖比不上伺服閥，但通過的控制技術和的電子裝置以彌補其不足，使其和功效逼近伺服閥。1973年，Moog公司按工業(yè)使用的需要，把某些伺服閥轉換成工業(yè)場合的比例閥標準接口。Bosch研制出了其標志性的射流管導及電反饋的平板型伺服閥。1974年，Moog公司推出了低成本、大流量的三電反饋伺服閥。PARKER//PARKER直動式比例換向閥//PARKER直動式比例換向閥//美國PARKER//PARKER*//PARKER技術文章
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PARKER直動式比例換向閥般按力矩馬達型式分為動圈式和永磁式兩種。傳統(tǒng)的伺服閥大部分采用永磁式力矩馬達，此類伺服閥還可分為噴嘴擋板式和射流式兩大類。目前國內伺服閥的大部分以噴嘴擋板式為主。射流管式伺服閥形成規(guī)模及系列的只有船舶重工集團公司七O四研究所。國外情況亦類似，原射流管式伺服閥的美國Abex公司也已被Park公司所吞并。然而，由于射流管式伺服閥具有抗污染好、高可靠性、高分辨率等特點。有些也在研制或已推出自己的射流管式產品，如航空工業(yè)總公司六O九研究所、運載火箭技術研究院十八研究所、美國Moog公司及俄羅斯的有關等。美國Moog公司還在2006年7月召開了產品推廣會，推出了射流管式的D660系列產品，并認為該產品代表了今后伺服閥的發(fā)展趨勢。PARKER//PARKER直動式比例換向閥//PARKER直動式比例換向閥//美國PARKER//PARKER*//PARKER技術文章
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PARKER直動式比例換向閥是伺服系統(tǒng)的核心元件，伺服閥的優(yōu)劣直接代表著伺服系統(tǒng)的水平。另外，從可靠性角度分析，伺服閥的可靠性是伺服系統(tǒng)中zui重要的環(huán)。由于伺服閥被污染是導致伺服閥失效的zui主要原因。對此，國外的許多對伺服閥結構作了改進，后發(fā)展出了抗污染性較好的射流管式、偏導射流式伺服閥。而且，俄羅斯還在其研制的射流管式伺服閥閥芯兩端設計了雙冗余位置傳感器，用來檢測閥芯位置。旦出現故障信號可立即切換備用伺服閥，大大提高了系統(tǒng)的可靠性，此種兩余度技術已廣泛的應用于航空。而且，美國的Moog公司和俄羅斯的沃斯霍得工廠均已研制出四余度的伺服機構用于航天。我國的航天系統(tǒng)有關單位早在90年代就已進行三余度等多余度伺服機構的研制，將伺服閥的力矩馬達、反饋元件、滑閥副做成多套，發(fā)生故障可隨時切換，保證系統(tǒng)的正常工作。此外多線圈結構、或在結構上帶零位保護裝置、外接式濾器等型式的伺服閥亦已在冶金、電力、塑料等得到了廣泛的應用。PARKER//PARKER直動式比例換向閥//PARKER直動式比例換向閥//美國PARKER//PARKER*//PARKER技術文章
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PARKER直動式比例換向閥是用螺線管直接驅動閥芯運動的單開環(huán)控制閥。然隨著控制理論的成熟及軍事應用的需要，伺服閥的研制和發(fā)展取得了巨大成就。 1946年，英國Tinsiey獲得了兩閥的；Raytheon和Bell航空發(fā)明了帶反饋的兩閥；MIT用力矩馬達替代了螺線管使馬達消耗的功率更小而線性度更好。1950年，W.C.Moog*個發(fā)明了單噴嘴兩直動式比例換向閥。1953年1955年間，T.H.Carson發(fā)明了機械反饋式兩伺服閥；W.C.Moog發(fā)明了雙噴嘴兩伺服閥；Wolpin發(fā)明了干式力矩馬達，消除了原來浸在油液內的力矩馬達由油液污染帶來的可靠性問題。 1957年R.Atchley利用Askania射流管原理研制了兩射流管直動式比例換向閥。PARKER//PARKER直動式比例換向閥//PARKER直動式比例換向閥//美國PARKER//PARKER*//PARKER技術文章
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PARKER直動式比例換向閥的加工精度及能力。如在閥芯閥套配磨方法上，上海交通大學、哈爾濱工業(yè)大學均研制出了智能化、全自動的配磨系統(tǒng)。特別是哈爾濱工業(yè)大學的配磨系統(tǒng)改變了傳統(tǒng)的氣動配磨的模式，采用液壓油作為測量介質，更直接地反應了所測滑閥副的實際情況，提高了測量結果的準確性與精度。在力矩馬達的焊接方面中船重工704研究所與德國合作控制工程網版權所有，采用了世界zui的焊接工藝取得了良好的效果。另外，哈爾濱工業(yè)大學還研制出智能化的伺服閥力矩馬達彈性元件測量裝置。解決了原有手動測量法中存在的測量精度低、操作復雜、效率低等問題。對彈性元件能完成剛度測量、得到完整的測量曲線，且不重復性測量誤差不大于1%。
3）在材料的更替上方面。除了對某些零件采用了強度、彈性、硬度等機械更*的材料外。還對特別用途的伺服閥采用了特殊的材料。如德國有關公司用紅寶石材料制作噴嘴檔板，防止因氣饋造成檔板和噴嘴的損傷，而降低動靜態(tài)，使工作壽命縮短。機械反饋桿頭部的小球也用紅寶石制作，防止小球和閥芯小槽之間的磨損，使閥失控，并產生尖叫。航空六O九所、中船重工七O四研究所等單位均采用新材料研制了能以航空煤油、柴油為介質的耐腐蝕伺服閥。此外對密封圈的材料也進行了更替，使伺服閥耐高壓、耐腐蝕的得到提高。 PARKER//PARKER直動式比例換向閥//PARKER直動式比例換向閥//美國PARKER//PARKER*//PARKER技術文章
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4）在測試方法改進方面，隨著計算機技術的高速發(fā)展單位均采用計算機技術對伺服閥的靜、動態(tài)進行測試與計算。某些單位還對如何提高測量精度，降低測量儀器本身的振動、熱噪聲和外界的高頻干擾對測量結果的影響，作了深入的研究。如采用測頻/測周法、尋優(yōu)信號測試法、小波消噪法、正弦輸入法及數字濾波等新技術對伺服閥測試設備及方法進行了研制和改進。